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您的微电子过滤和净化合作伙伴

微电子过滤解决方案降低操作和维护成本,大幅提高设备OEE欧宝足球网站和可用性,延长化学品寿命,减少缺陷,并最大限度地提高产品质量和产量。

Pall过滤系统已经成功地将其经过验证的系统集成在微电子领域,以降低成本,提高可靠性和最大限度地提高电子制造过程的效率。随着作业的增加,为了提高生产效率,颗粒、杂质和污染的控制变得极为关键。解决这些挑战直接影响运营的正常运行时间、维护频率、产品质量、资本设备的寿命和整体业务性能。

半导体器件的产量长期受到流体和气体流中的杂质的影响。随着工艺节点不断缩小,特征尺寸和几何形状变得更加复杂,制造过程中对污染的敏感性显著提高。金属、微粒和碳氢化合物等杂质会直接影响工艺的每一步,从而导致更高的工艺冲洗量,更多的化学品使用量,昂贵的停机时间和生产线产量的显著下降

先进的Node半导体制造需要非常干净的流体流,从而驱动对高端过滤和净化解决方案的需求。欧宝足球网站更严格的污染控制可以显著提高产量,产量的边际提高意味着晶圆厂数百万美元的净利润。

Microelectonics

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